裝置主要性能指標及技術參數1．

裝置極限真空度小于10Pa2．裝置年泄漏率小于1%3．噪音小于75dB4．充氣系統(tǒng)壓力小于0.8Mpa5．環(huán)境溫度:-10℃-+40℃6．電源：交流三相50赫，380V7．型號：LCZ-15型  功率：2.2千瓦   真空速率：15升/秒                LCZ-30型   功率：3千瓦     真空速率：30升/秒 （水冷機組）              LCZ-70型   功率：5.5千瓦  真空速率：70升/秒 （水冷機組）8。外型尺寸：（長X寬X高）              LCZ-15型   700X500X800                LCZ-30型   900X600X850              LCZ-70型   1200X700X1100LCZ-4型    真空泵速率   4升/秒(14.4 m3/h) LCZ-8型    真空泵速率   8升/秒(28.8 M3/h) LCZ-15型   真空泵速率 　15升/秒(54 M3/h) LCZ-30型   真空泵速率 　30升/秒(108M3/h) LCZ-70型   真空泵速率 　70升/秒(252 M3/h) 可選用羅茨泵機組 LCZ-150型  真空泵速率 　150升/秒(540 M3/h) 可選用羅茨泵機組